预热烘箱,爱义信 贬惭顿厂烘箱 贬惭顿厂预处理烘箱HMDS涂到样品表面后,经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物,将样品表面由亲水性变为疏水性,此疏水性能够很好的与光刻胶结合,增加了样品表面与光刻胶的黏附作用
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晶圆烘箱,贬惭顿厂预处理烘箱HMDS涂到样品表面后,经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物,将样品表面由亲水性变为疏水性,此疏水性能够很好的与光刻胶结合,增加了样品表面与光刻胶的黏附作用。