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无氧无尘烘箱
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晶圆烘箱适用于对加热中需要氮气保护或对氧含量和洁净度有较高要求的产物及材料在恒温或阶梯温度下进行预热、老化、烘烤、固化、淬火等工艺以及恒温适应性试验
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